Pada awal tahun 1738, ilmuwan Swiss Daniel Bernoulli menggunakan metode tekanan diferensial-berdasarkan persamaan Bernoulli pertama-untuk mengukur aliran air. Kemudian, GB Venturi dari Italia menyelidiki penggunaan tabung Venturi untuk pengukuran aliran dan mempublikasikan temuannya pada tahun 1791.
Pada tahun 1886, Clemens Herschel dari Amerika menerapkan prinsip tabung Venturi untuk membuat alat praktis untuk mengukur aliran air.
Dari awal hingga pertengahan abad ke-20, prinsip-prinsip pengukuran yang sudah mapan secara bertahap menjadi matang; Para peneliti tidak lagi membatasi pemikiran mereka pada metode-metode yang sudah ada, melainkan memulai jalur eksplorasi baru.
Pada tahun 1930-an, metode untuk mengukur kecepatan aliran cairan dan gas menggunakan gelombang akustik mulai bermunculan. Namun, hanya sedikit kemajuan signifikan yang dicapai dalam bidang ini sebelum Perang Dunia II; baru pada tahun 1955 flowmeter Maxson-yang menggunakan metode sirkulasi akustik-diperkenalkan dengan tujuan mengukur aliran bahan bakar penerbangan.
Sejak tahun 1960an dan seterusnya, instrumentasi pengukuran aliran mulai berkembang menuju presisi dan miniaturisasi yang lebih baik.
Dengan kemajuan pesat teknologi sirkuit terpadu, pengukur aliran ultrasonik yang dilengkapi teknologi loop terkunci fase-dapat diadopsi secara luas. Selain itu, penerapan mikrokomputer secara signifikan meningkatkan kemampuan pengukuran aliran; misalnya, integrasi mikrokomputer ke dalam Laser Doppler Velocimeters memungkinkan pemrosesan sinyal yang lebih kompleks.